核心参数
仪器种类: 普通真空快速退火炉
产地类别: 进口
样品尺寸: 6寸
温度范围: 1200度
最高升温速率: 150K/S
降温速率: 200K/S
退火温度准确性: 1%
退火温度均匀性: 1.5%
Ecopia快速退火炉(4~6英寸)
产地:韩国Ecopia;
型号:RTP-1300/RTP-1600;
RTP-1300, RTP-1600为Ecopia进口真空快速退火炉,仪器带有控制软件,为台式设计。
RT-1300可以退火100mmX100mm尺寸的样品,RTP-1600可以退火150mmX150mm尺寸的样品。
技术规格:
- 加热方式:红外卤素钨灯,1.2KW/支;
- 卤素红外灯数量:12支,或18支;
- 最快升温速率:100℃/秒;
- 最快降温速率:60秒(1000℃ → 400℃);
- 最高温度:1200℃;
- 温度精度:+/-1℃
- 最大样品尺寸:100 X 100mm, 或150mm X 150mm;
- 退火环境:真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢气等);
- 真空泵及极限压力:机械泵,10-3Torr水平(选配);
- 电压:220 V,单相或三相;
- 仪器尺寸:500 X 400 X 500mm (W X D X H);
- 质量:净重60Kg;
仪器特点:
- 可在真空/不同气氛/空气不同环境下,对样品进行快速热处理;
- 温控精度高;
- 适合高校或研究所科研使用;
- 带有RTP控制软件;
- 紧凑的台式设计;
- 仪器操作方便,样片装取容易;
- 价格合理,高性价比;
应用领域:
- 快速热退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);
- 快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);
- 快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);
- 硅化 (Silicidation);
- 扩散 (Diffusion);
- 化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing);
- 离子注入后退火 (Implant Annealing);
- 电极合金化 (Contact Alloying);
- 晶化和致密化 (Crystallization and Densification);
- 合金熔点分析;
- 薄膜沉积;
等等…
RTP-1300快速退火炉参考用户:
北京师范大学、北京理工大学、昆明理工大学、东南大学、西安交通大学、渤海大学、中科院苏州纳米所、国电光伏、苏州新磊等...
ECOPIA退火炉RTP-1300/RTP-1200的工作原理介绍
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企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
南通宏腾微电子技术有限公司
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江苏南通越江路88号
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