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核心参数
加热方式： 热壁
产地类别： 进口
应用领域： 半导体
Plasma-Therm是致力于PECVD/HDPCVD/RIE/ICP/DSE的世界知名设备提供商， 产品涵盖2”~ 12”主流干法刻蚀/PECVD工艺，广泛应用于半导体、MEMS、三五族(GaAs / SiC / CPV)、LED、SOI及半导体后段TSV领域
仪器简介：
2”~12” 手动 / 半自动 / 全自动(片盒对片盒)
领域 : 半导体前后段 / MEMS / 三五族(GaAs / SiC / CPV) / LED / SOI / TSV
制程 : PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE
特点:
Plasma-Therm公司有将近40年研发及制造干法刻蚀/PECVD设备的历史
Plasma-Therm设备具有高稳定性与高可靠度
Plasma-Therm自有的软硬件设计及完善QC系统
Plasma-Therm设备配置灵活，包含手动、半自动、全自动(片盒对片盒)型号满足实验室研发及量产客户需求
Plasma-Therm设备在行业内高占有率：目前世界范围内装机数量超过1600台
Plasma-Therm PECVD设备：具有良好的uniformity(3%)和温度控制技术
Plasma-Therm RIE / ICP设备：具有高刻蚀速率，低损伤, 良好的温度均匀性控制(独有的整个反应腔陶瓷加热技术)，方便的腔体清洁技术以及灵敏的刻蚀断点监测技术
Plasma-Therm DES设备：应用于MEMS及TSV领域，主要用于高深宽比刻蚀, morphing技术确保侧壁的profile的精确控制,快速气体切换技术（专利）确保刻蚀的侧壁平滑，独有的压力控制技术（专利），高灵敏的刻蚀断点监测技术
Plasma-Therm连续15年被VLSI评为10 Best设备供应商
应用领域：
半导体：
三五族(GaAs / SiC / CPV)
MEMS / SOI
LED
半导体后段及TSV
Plasma-Therm化学气相沉积（CVD）pecvd的工作原理介绍
化学气相沉积（CVD）pecvd的使用方法?
Plasma-Thermpecvd多少钱一台?
化学气相沉积（CVD）pecvd可以检测什么？
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Plasma-Thermpecvd有现货吗？
企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
南通宏腾微电子技术有限公司
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江苏南通越江路88号
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