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核心参数
产地类别： 进口
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统，紫外曝光机等；美国公司为全球领先的半导体设备供应商，多年来致力于掩模对准光刻机和匀胶机研发与生产，并且广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域；该公司是目前世界上最早将光刻机商品化的公司之一，拥有雄厚的技术研发力量和设备生产能力；并且其设备被众多著名企业、研发中心、研究所和高校所采用；以优秀的技术、精湛的工艺和良好的服务，赢得了用户的青睐。
产地：美国；
型号：M-150
技术规格：
- 掩模尺寸：最大7英寸；
- 样品尺寸：最大6英寸；
- 卡盘移动：X,Y,Z,Theta轴手动，楔形补偿调平；
- 紫外光源：6.25" X 6.25"；
- 光源功率：350瓦紫外灯；
- 光源均匀性：<+/-3%；
- 光源365nm波长强度：最大30毫瓦；
- 显微镜：双显微镜系统；
- 显微镜移动：X,Y,Z轴手动调节；
- 显微镜物镜空间：50-150mm；
- 标配放大倍率：80X-400X；
- 显示器：20" LCD；
- 曝光时间：0.1-999秒；
- 接触模式：真空接触，硬接触，软接触，接近接触(距离可调)；
- 对准精度：1um (Vacuum Contact), 1.5um(Hard Contact), 3um(Soft Contact), 5um(Proximity Mode)；
- 电源：220V，单相，15安培；
主要特点:
- 光源强度可控；
- 紫外曝光，深紫外曝光(Option)；
- 系统控制：手动、半自动和全自动控制；
- 曝光模式：真空接触模式(接触力可调),Proximity接近模式, 投影模式；
- 真空吸盘范围可调；
- 专利技术：可双面对准，可双面光刻，具有IR和CCD模式
- 双CCD显微镜系统，最大放大1000倍，显示屏直接调节，比传统目镜对准更方便快捷，易于操作。
- 特殊的基底卡盘可定做；
- 具有楔形补偿功能；
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企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
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江苏南通越江路88号
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