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核心参数
产地类别： 进口
均匀性： 2%
Reactive Etching System Specifications: NRE NDR Control: PC, Lab View PC, Lab View Chamber: 13” Aluminum, solid block 13” Aluminum, solid block/SS Cubic Chamber Substrate Holder: 13 °C, water cooled -60 °C, Cryogenic/electrostatic chuck Gas Distribution: Shower Head, MFC’s, SS lines Gas Ring, MFC’s, SS lines Plasma Source RF Platen, P-100 (Hollow Cathode) Planar ICP 200 (8”) DC Bias: up to -500V Self Bias up to -1000 V external bias Base Pressure: 5x10-7 Torr 5x10-7 Torr Process Pressure: 0.02-8 Torr 0.001 Torr and up RF Power: 600 W, 1000W Optional 600W, or 1KW Vacuum Pump: 200 L/sec Corrosive Turbo 260 L/sec Corrosive Turbo/500 L/sec optional Mechanical pump: RV 12 with Fomblin Oil RV 12 with Fomblin Oil/Dry Scroll Pump Power: 110/220V 3Phase, 40/20A 110/220V 3Phase, 40/20
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企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
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