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当前位置：天合昆泰 > 台阶仪 > 二手KLA-Tencor P-17探针式台阶仪

二手KLA-Tencor P-17探针式台阶仪

品牌：科磊

产地：美国

型号： p17

报价： ¥13万

核心参数

产地类别：进口

测量原理：其它

测量范围：纳米级到1000微米

精度： ±1%

测量样品最大尺寸：纳米级到1000μm的2D和3D台阶高度的测量

产品介绍

KLA- Tencor P-17 台阶仪

·所用技术：光学, 3D, 探针式

·功能：用于粗糙度测量, 薄膜分析用，薄膜/厚膜台阶刻蚀深度测量光阻/光刻胶台阶/柔性薄膜/表面粗糙度/波纹度表征/表面曲率和轮廓分析/薄膜的2DSTRESS量测/表面结构分析/表面3D轮廓成像

Tencor P-17是第八代台式探针式轮廓仪，它凝结了逾40年的表面量测经验。该行业领先的系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达200mm，无需拼接。

出色的测量稳定性通过结合UltraLite® 传感器、恒力控制和超平扫描样品台实现。通过使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程式。Tencor P-17探针式轮廓仪支持2D或3D测量，可使用多种滤波、调平和分析算法来测量表面形貌。通过图形识别、序列和特征检测实现全自动测量。

·特征

台阶高度：纳米级到1000微米

恒力控制：0.03至15mg

无需拼接即可扫描样品的全直径

视频：5MP高分辨率彩色相机

弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

软件：简单易用的软件界面

生产能力：具有测序、图形识别和SECS/GEM功能的全自动测量

应用台阶高度：2D和3D台阶高度

纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

形状：2D和3D翘曲形状

应力：2D和3D薄膜应力

缺陷检测：2D 和 3D 缺陷表面形貌

台阶高度

Tencor P-17可以提供纳米级到1000μm的2D和3D台阶高度的测量。这使其能够量化在蚀刻，溅射，SIMS，沉积，旋涂，CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。Tencor P-17具有恒力控制功能，无论台阶高度如何都可以动态调整并施加相同的微力。这保证了良好的测量稳定性并且能够精确测量诸如光刻胶等软性材料。

纹理：粗糙度和波纹度

Tencor P-17提供2D和3D纹理测量并量化样品的粗糙度和波纹度。软件滤镜功能将测量值分为粗糙度和波纹度部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。

应力：2D和3D薄膜应力

Tencor P-17能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置并精确测量样品翘曲。然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。2D应力通过在直径达200mm的样品上通过单次扫描测量，无需图像拼接。3D应力的测量采用多个2D扫描，并结合θ平台在扫描之间的旋转对整个样品表面进行测量。

缺陷复检

缺陷复查用于测量如划痕深度之类的缺陷形貌。缺陷检测设备找出缺陷并将其位置坐标写入KLARF文件。 “缺陷复检”功能读取KLARF文件、对准样本，并允许用户选择缺陷进行2D或3D测量。

主要应用：工业高校、实验室和研究所半导体和化合物半导体

LED：发光二极管太阳能

MEMS:微机电系统数据存储汽车医疗器械

售后服务

产品货期： 7天

整机质保期： 6月

培训服务：提供付费培训

安装调试时间：到货后15天内

电话支持响应时间： 24小时内

是否提供维保合同：是

维修响应时间： 15天内

工商信息

企业名称

厦门天合昆泰科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

法人商事主体(有限责任公司(自然人独资))

信用代码

91350211MACGBPT49A

成立日期

2023-04-25

注册资本

伍拾万元整

经营范围

商事主体的经营范围、经营场所、投资人信息、年报信息和监管信息等请至厦门市商事主体登记及信用信息公示平台查询。经营范围中涉及许可审批经营项目的,应在取得有关部门的许可后方可经营.

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厦门天合昆泰科技有限公司为您提供科磊二手KLA-Tencor P-17探针式台阶仪 p17，科磊p17产地为美国，属于进口台阶仪，除了二手KLA-Tencor P-17探针式台阶仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多台阶仪,天合昆泰客服电话，售前、售后均可联系。

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