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核心参数
产品类别： 真空探针台
操作类型： 手动
可测圆片尺寸： 12"晶圆
产品介绍
高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。
技术优势
控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；
控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃;
极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；
探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；
三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构;
样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。
通用参数
测试环境
极低温测试、高温无氧化测试。
常规选型
测试环节
晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。
相关配件
多种精度，多种夹具类型探针座
同轴线缆，三同轴线缆
各种类型探针
真空泵
电学测试夹具
电磁屏蔽箱
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。
谱量光电探针台LVTS-12的工作原理介绍
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企业名称
南京谱量光电科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320113MA1WYHADXL
成立日期
2018-07-30
注册资本
500万
经营范围
光电技术研发、技术转让、技术服务、技术咨询;光电产品、机电产品、机械设备、计算机软硬件、仪器仪表、五金交电电子产品及配件的技术研发、销售、安装、技术服务、技术咨询;电线电缆、印刷耗材、塑胶制品、装饰材料的销售;自营和代理各类商品及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
南京谱量光电科技有限公司
公司地址
江苏省南京市栖霞区科创路1号
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