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核心参数
产品类别： 真空探针台
操作类型： 手动
可测圆片尺寸： 6"晶圆
产品介绍
高低温真空探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学、芯片、半导体器件等方向实验分析的理想选择。
技术优势
控温范围可达-142℃-600℃（131.15K 到 873.15K）（300℃以上需另配水冷系统）；
控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃;
极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；
探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；
三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构;
样品台多个尺寸可选，常规有4/6/8/12英寸。
通用参数
测试环境
极低温测试、高温无氧化测试。
常规选型
测试环节
晶圆测试过程中，温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。
相关配件
多种精度，多种夹具类型探针座
同轴线缆，三同轴线缆
各种类型探针
真空泵
电学测试夹具
电磁屏蔽箱
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套高低温真空探针台，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。
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