超净工作台校准方法

4. 1　检漏 向空气过滤器上游测发 DOP 气溶胶(冷烟) ,用 采样器在过滤器下游例约 2. 5cm 处检漏仪进行巡检 扫描,巡检速度≤5cm/s,当下游测浓度与上游侧浓度的 比大于 0. 01%时,则认为有明显泄漏,应进行堵漏。

4. 2　洁净度 采样时采用 28. 3L/min 的尘埃粒子计数器,也可采 用小流量尘埃粒子计数器,但采样量得小于 1L。当吸风 口处的气溶胶浓度达到稳定条件下,在距主过滤器或整 流格栅出口 250mm 的平行断面的中心处连续测试 5 次, 求其平均值。

4. 3　风速 在主过滤器或扩散板下游 10cm 处的平面,把该平面 面积分成不得少于 12 等分面积,各面积中心点为风速测 点,各测点之间距离不应大于 25cm,用热球风速仪或热 敏电阻风速仪来测量各点风速,取平均值为截面风速。 风速均匀性按下式计算: Y =Vmax(min)-V V ×100% 式中: Y —风速均匀性, %; V—截面风速较大值或较 小值,m/s; V—截面平均风速,m/s。

4. 4　噪声 测试噪声的环境在室内比较开阔的、较硬实反射地 面上进行测量。设备操作区开口处,若设有档板应全部 开启,特利注意避免气流产生的风压、振动等带来的影 响。噪声测量点应布置在工作台中心,距台面前沿 20cm 处,高度为 110cm,共测四次,取平均值为测量结果。

4. 5　振动 洁净工作台应放置在振动比较小的地面上,避免周 围环境环的影响,工作台在正常运行条件下,将振动分析 计的拾振器放置于操作面的几何中心,测出 X、Y、Z 三个 轴向的总振幅值。

4. 6　照明 在洁净工作台横向的中心线上,均匀布置三个点,用 照度计测量其照度,取平均值为测量结果。

5　注意事项 ( 1)测量时要避免外界风速、电磁场、振动等影响。 ( 2)工作台的工作区不要放置与检测无关的物品,保 持工作区干净。 ( 3)在测量过程中,发现有 5μ m 的尘埃粒子时,应进 行多次测量,多次出现 5μ m 的粒子,这时认为测量数据 有效。( 4)用尘埃粒子计数器测量洁净度时,尘埃粒子计数 器要经自净,测量还有一个平衡过程,次或第二次测 量的数据不要作为测量结果。 ( 5)洁净工作台使用一年后,应进行校准,保证性能 的可靠。