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液体颗粒计数器解决高粘度光刻胶检测方案深度剖析

2024/08/16 10:53

阅读:3

分享:
应用领域:
半导体
发布时间:
2024/08/16
检测样品:
其他
检测项目:
光刻胶里悬浮粒子的大小和数量的多少
浏览次数:
3
下载次数:
参考标准:
ISO21501-2

方案摘要:

在微纳米制造领域,高粘度光刻胶作为精密图形的关键转移媒介,其纯净度直接关系到最终产品的性能与良率。针对这一挑战,我们精心设计了基于先进液体颗粒计数器的检测方案,旨在精准捕捉并量化光刻胶中的微小颗粒,确保生产过程的无瑕衔接。

产品配置单:

分析仪器

高粘光刻胶液体颗粒计数器

型号: PMT-2GK

产地: 陕西

品牌: 普洛帝

¥54万

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国产光刻胶液体颗粒计数器

型号: PMT-2-J

产地: 陕西

品牌: 普洛帝

¥52万

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光刻胶液体颗粒计数器

型号: PMT-2-G

产地: 陕西

品牌: 普洛帝

¥52万

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低粘光刻胶液体颗粒计数器

型号: PMT-2GJ

产地: 陕西

品牌: 普洛帝

¥54万

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设备配件

普洛帝puluody 电子级净化瓶 PS8011电子半导体行业PFA洁净瓶150ml

型号:

产地:

品牌: 普洛帝

面议

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所需试剂

高清洁清洗剂0级

型号: 500ml

产地:

品牌: 普洛帝

¥280

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方案详情:

 

在微纳米制造领域,高粘度光刻胶作为精密图形的关键转移媒介,其纯净度直接关系到最终产品的性能与良率。针对这一挑战,我们精心设计了基于先进液体颗粒计数器的检测方案,旨在精准捕捉并量化光刻胶中的微小颗粒,确保生产过程的无瑕衔接。

1、方案背景:

随着半导体工艺步入纳米时代,对光刻胶的洁净度要求达到了前所未有的高度。传统检测方法在面对高粘度、低流动性的光刻胶时,往往力不从心,难以有效分离并计数微小杂质。因此,开发一种高效、准确的检测方案显得尤为迫切。

2、检测仪器亮点:

本方案采用的液体颗粒计数器,集成了高精度激光散射技术与智能算法,能够轻松穿透高粘度介质,精准捕捉直径小至亚微米的颗粒。其独特的流路设计与温控系统,确保了检测过程中光刻胶的稳定流动与均匀分散,有效避免了因粘度差异引起的测量误差。




5.png



3、检测步骤详解:

1)样品预处理:采用特制稀释剂与搅拌装置,确保光刻胶均匀稀释至适宜粘度,同时减少气泡生成。

2)自动进样:通过精密泵送系统,将处理后的光刻胶样品平稳送入计数器检测室。

3)实时检测:激光束在样品中穿梭,散射光信号被高灵敏度探测器捕捉,转化为颗粒大小与数量的精确数据。

4)数据分析:智能软件即时处理数据,生成直观报告,包括颗粒分布图、浓度趋势等关键信息。

4、数据结果解读:

检测结果不仅反映了光刻胶的即时洁净状态,还为工艺优化提供了宝贵依据。通过持续监测,可及时发现并纠正潜在污染源,保障生产线的稳定运行。


2.jpg

5、注意事项:

-确保检测环境无尘、恒温,以减少外界干扰。

-样品处理时需严格控制稀释比例与搅拌时间,避免引入新污染源。

-定期校准仪器,保证测量结果的准确性与可靠性。


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