电子级双氧水的颗粒管控浅议

                                          电子级双氧水的颗粒管控浅议

什么是双氧水

双氧水也 叫过氧化氢，过氧化氢是一种重要 的化工 原料，化学式为 H2 O2。 纯过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体 ，可任意比例与水混溶 ，是一种强氧化  剂 ，水溶液俗称双氧水 ，为无色透明液体 。双氧水的生产方法主要有电  解法 、蒽醌法 、异丙醇法 、氧阴极还原法和氢氧直接化合法等 ，蒽醌法  是生产双氧水 的主要方法 ，  国 内 99%以上 的双氧水装置采用该工 艺。

双氧水的作用

双氧水根据浓度及应用领域不同可分为电子级 、食品级 、工业级等 。 电  子级双氧水是生产电子集成电路不可或缺的化学试剂，在半导体制程前  端硅片清洗和剥离蚀刻完成后的光刻胶。主要用于半导体硅晶片清洗剂， 蚀刻剂和光刻胶去除剂 ，还可用于高级绝缘层制取 ，电镀液无机杂质去  除 ， 电子行业中铜 、铜合金和镓 、锗的处理 ， 以及太阳能硅晶片的蚀刻  和清洗 。 从行业产量来看 ， 2021 年我 国 高纯 电子级双氧水产量 9.44 万  吨 ，  同 比增长 32.0%。

双氧水的颗粒管控重要手段

电子级双氧水属于湿电子化学品 ，技术壁垒较高 。双氧水的颗粒管控也 显 得 尤 为 重 要 。 普 洛 帝 测 控 专 门 研 发 了 针 对 双 氧 水 的 颗 粒 管 控 设 备 PMT-2 。在双氧水生产企业已经得 到广泛应用。