2024-04-29 15:08
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表面清洁度检测仪
型号: PSC-3A
产地:
品牌: 普洛帝
¥ 22.8万
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普洛帝PULUODY表面清洁度检测仪PSC-3C
型号: PSC-3C
产地:
品牌: 普洛帝
¥ 24.8万
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普洛帝PUOLUODY金属表面清洁度测量仪PSC-3A-1
型号: PSC-3A-1
产地:
品牌: 普洛帝
¥ 22.8万
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普洛帝puluody PS3100-3L超声波振荡器 超声波清洗机 不锈钢超声波脱泡机
型号: PS3100-3L
产地:
品牌: 普洛帝
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商用集成电路的制造关键取决于通过化学机械平坦化(CMP)将硅晶片表面抛光至接近原子平坦度的磨料浆料颗粒的物理和化学性质。磨料浆料(Slurry)中含有相对较少>1.0μm的颗粒(如二氧化硅、氧化铝),这些颗粒可能会在晶圆表面平坦化处理的时候造成微划伤。因此,磨料浆料(Slurry)颗粒的大颗粒计数(LPC) 是CMP艺中的关键因素。
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