核心参数
仪器原理: 静态光散射
分散方式: 湿法分散
仪器类型: 在线激光粒度仪
产地类别: 国产
重现性: 5%
测量范围: 0.1-1.0um
分辨率: 0.1um
测量时间: 60s
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液体颗粒计数器在超纯水清洗晶圆过程中的应用
在半导体制造过程中,晶圆的清洗是至关重要的一环。超纯水作为清洗的主要介质,其纯净度直接关系到晶圆的质量和最终产品的性能。为了确保超纯水的质量,液体颗粒计数器被广泛应用于超纯水清洗晶圆过程中对清洗后的超纯水进行颗粒检测。
环保
2024/04/24
陕西普洛帝测控技术有限公司
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