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产品说明
TVS-GSS系列扫描振镜是用于光束扫描的器件，利用检流计原理实现，是一种小惯量扫描器。一般由反射镜、扫描电机和伺服系统组成，通电线圈在磁场中产生力矩，转子上通过机械扭簧或电子的方法增加复位力矩，其大小与转子偏离平衡位置的角度成正比，整个过程采用闭环反馈控制，由位置传感器、误差放大器、功率放大器、位置区分器、电流积分器等五大部分共同完成，从而完成反射镜的偏转控制。要实现二维扫描，则需要两个扫描振镜正交安装，实现入射光束在X轴和Y轴两个方向的位置控制，再搭配上超维景提供的TVS-MMC系列双光子成像控制器或其他信号源，即可形成面阵扫描，该扫描振镜在多光子显微镜和共聚焦显微镜等扫描成像系统中都有应用。对于高速扫描，可选共振扫描振镜，详情可联系本公司。
产品应用
多光子显微镜、共聚焦显微镜
激光加工、激光打标
产品优势
大扫描范围：最大光学扫描角度可达±20°
位置精准反馈：提供位置反馈信号，可用于用户闭环控制
控制简便：用户可使用模拟电压，实现振镜的任意轨迹扫描
参数优化：针对用户扫描波形进行参数优化，以提高可靠性和扫描一致性
二维扫描振镜
技术参数
参数 | TSH8TVS-GSS系列 | ||||||||
| 型号 | TVS-GSS-203H | TVS-GSS-310A/D | TVS-GSS-618A/D | TVS-GSS-720A/D | |||||
| 输入光斑直径（mm） | 3 | 5 | 7 | 9 | 10 | 10 | 12 | 16 | 20 |
| 最大扫描角度 | ±20° ±12.5° | ±20° | ±20° | ±20° | |||||
| Nd:YAG@1064 nm | - | - | 100 | 80 | 120 | 120 | 150 | 200 | 300 |
| CO2 | - | - | 50 | 70 | 70 | 70 | 100 | 150 | 200 |
| 阶跃响应时间（ms） | 0.25 | 0.3 | 0.4 | 0.7 | |||||
| 标刻速度（m/s） | - | - | 4 | 3 | 3 | 1.7 | 1.5 | 2 | 2 |
| 定位速度（m/s） | - | - | 12 | 11 | 11 | 7 | 7 | 7 | 7 |
| 好质量 | - | - | 700 | 690 | 650 | 500 | 400 | 350 | 300 |
| 高质量 | - | - | 550 | 500 | 480 | 340 | 260 | 220 | 200 |
| 点漂移（pRad./°C） | <20 | <20 | <20 | <20 | |||||
| 比例漂移（ppm/°C） | <75 | <75 | <75 | <75 | |||||
| 续工作漂移，8小时以上（mrad.） | <0.8 | <0.8 | <0.8 | <0.8 | |||||
| 线性度 | ≥99.70% | ≥99.90% | ≥99.90% | ≥99.90% | |||||
| 重复精度（uRad.） | <8 | <8 | <8 | <8 | |||||
| 最大平均工作电流（A/单轴） | 2 | 2.5 | 3 | 4 | |||||
| 峰值电流（A） | 10 | 20 | 20 | 25 | |||||
| 输入信号接口 | XY2-100或模拟电压士5 V，土10 V | ||||||||
| 输入电源 | 土24 VDC士10%，Max.RMS 3.5 A/轴 | ||||||||
| 工作环境温度 | 25°C士10°C | ||||||||
| 重量（不含透镜）（kg） | - | 2.4 | 2.9 | 4.5 | |||||
主要应用领域 | 激光标刻、飞行打标 激光演示、激光医疗 科研 | 激光标刻、激光调阻 内雕、科研 | 激光标刻、激光调阻 内雕、激光打码 科研 | 激光标刻、激光调阻 切割、钻孔 | |||||
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