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北京科益虹源光电技术有限公司
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公司介绍
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北京科益虹源光电技术有限公司（以下简称“科益虹源”），成立
于 2016 年 7 月，注册资本 20160 万元。股东包括亦庄国投、中科院
微电子所、国科科仪、徐州光远、哈勃科技、核心团队等，是多元化
资本构成的国有控股公司。
科益虹源是中国唯一、全球第三家具备光刻准分子激光技术全链
条研发和产业化的公司，拥有一支涵盖光、机、电、控、测、系统、
集成等技术开发和生产制造能力的 230 ...
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