电镜核心部件打破垄断 | 博众仪器发布热场发射电子源

近日，苏州博众仪器科技有限公司（简称博众仪器）宣布了一项重大关键技术突破，成功研发出热场发射电子源。该产品可以用于电子显微设备和电子束光刻设备等领域，标志着中国在热场发射电子源方面实现了国产化替代，为高端电子显微技术自主化进程提供了强大助力。同时，其作为电子束的共性基础元件，也将对发展电子束相关设备，如发展电子束光刻机等设备奠定坚实基础。目前，该产品已取得相关发明专利。

该产品针尖曲率半径可精准控制在400～900nm之间，角电流密度达200～500uA/Sr，在200kV高压下，其亮度可达6.5x10^8～1.5x10^9A/(c㎡ ·Sr)，在1700～1850K的温度环境下稳定工作，不仅性能媲美国际顶尖产品，更在性价比上展现出巨大优势。目前，该产品已作为成熟产品对外销售并可提供定制化服务。

当前，电子显微镜市场尤其在高端扫描电子显微镜、透射电子显微镜等领域一直被美国的赛默飞、日本的日本电子和日立等企业所垄断，国内企业面临技术封锁和市场挤压的双重挑战。而电子源作为电子显微镜的核心部件，其技术门槛高、研制难度大，一直是国产电子显微镜发展的瓶颈之一。

在各类电子源中，热场发射电子源是应用最广的一类电子源，其亮度比钨灯丝高约1000倍，比LaB6灯丝高约100倍，而且具有更小的能量分散和更小的光斑直径，因此非常合适用于电子显微设备和电子束光刻设备等。但当前只有赛默飞、日本电子、日立、DENKA和YPS等国外公司有成熟的产品，国内企业始终面临着采购周期长、成本高、不能自主可控的困境。

博众仪器自成立以来，始终秉持着自主可控的经营理念，专注基于电子束的高端装备的研发、生产和销售，主营透射电子显微镜及其核心部件，如：肖特基电子源、超高稳定电源（包括高压电源和恒流电源）、高精度控温水冷机等产品，并提供电子枪、高压电源、磁透镜等整体解决方案。而热场发射电子源作为透射电镜的核心部件，自公司成立之初便开始研制。团队历时3年多的不懈努力，终于突破关键技术难点，研制出性能稳定、性价比更高的热场发射电子源。

接下来，博众仪器也会陆续推出，应用于高端仪器设备领域的超高稳定电源等核心产品，持续为高端仪器设备行业的发展贡献力量。