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核心参数
仪器种类： 在线式
产地类别： 国产
仪器原理： 其他原理
响应时间： 0.1S
气体种类： 压缩空气、标定气体
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应用：
DF-500系列 全金属质量流量控制器适合于半导体工艺、腐蚀性气体质量、流量高准确度
特性：
1.采用新型电磁阀，提升了响应性，实现了整个区域1秒钟以内高速响应
2.采用不锈钢密封材质，可支持高反应性气体
3.10SCCM~10SLM的产品阵容
4.配备了2个通信端口，支持菊花链
5.标准配备了RS-485通信功能
6.支持ROHS、CE规格
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | |
| 阀门方式 | 比例电磁阀（未通电时关闭） | |
| 目标气体（* 1） | N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 | |
| （未记载的气体换算成N2进行校正） | ||
| 流量范围（* 2） | 10 SCCM~10 SLM | |
| 控制范围 | 2~100％（F.S.） | |
| 响应能力 | 总流量控制范围 1sec内（wihtin±2％F.S.） | |
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | ||
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. | |
| 再现性 | ±0.25%F.S. | |
| 工作压差（* 4） | 50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa） | |
| 耐压 | 980kPa(G) | |
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下 | |
| 温度 | 使用温度 | 5～50℃ |
| 精度保证温度 | 15～35℃ | |
| 允许储存温度 | -10～60℃ | |
| 允许环境湿度 | 10～90%RH （无结露） | |
| 气体接触材料 | SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co | |
| 电气连接 | D-sub 9针KFC Standard（依据SEMI standard），RJ-45模块化插孔x 2 | |
| 流量设定信号 | 0~5 VDC（输入电阻约1MΩ） | |
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上） | |
| 数字通信 | 使用RS485旋转开关设置地址：最多99台（9600 bps） | |
| 所需电源（DC） | +15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA | |
| 接头 | 相当于1/4 VCR | |
| 安装姿势 | 推荐水平方向 | |
| 重量（* 9） | 约1100g | |
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