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深圳市矢量科学仪器有限公司

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诚聘英才
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电子束蒸发镀膜设备

品牌： 科特莱思科
产地： 美国
型号： CMS系列
报价： 面议
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产品介绍

极其强大的先进研究工具

设计用于适应特定的薄膜应用，如 GMR、CMS、半导体、纳米级器件、光子学和光伏

系统设计可以配置为真正的超高真空性能

经过现场测试和验证的设计

室

  • 适应性强的腔室、底板和基板选项

  • 18“ D x 15” H 不锈钢工艺室

基板处理

  • 旋转基板，适用于最大 150 毫米（6 英寸）基板

  • 使用石英灯加热器将基板加热至800°C

  • 单晶圆或多晶圆负载锁定，带手动或计算机控制的样品转移

  • 高精度PID温度控制回路（配备基板加热时）

泵送和测量

  • 1500 l/s 低温泵

  • 宽量程真空计，atm 至 1x10-10托

  • 高精度闭环压力控制（溅射应用的上游和下游）

沉积源

  • 气动源和基板百叶窗

  • 可配置六个或更多磁控沉积源

  • 交叉污染屏蔽（如适用）

质量与安全

  • 计算机控制，手动或全自动操作

  • 提供 CE 标志、UL 列表、CSA、NRTL 和其他行业认可的测试认证

  • 挤压铝框架，带外壳板

  • 单业务分接配电模块

基板处理

  • 旋转基板，适用于最大 200 毫米（8 英寸）基板

  • 用于样品清洁的基质偏置（通常是射频等离子体，用于去除天然氧化层）

  • 沉积过程中的衬底偏置会影响薄膜微观结构的特征（如晶体取向），提高薄膜致密化，促进薄膜粘附力，并促进提高共溅射合金薄膜的薄膜均匀性

  • 使用元件式加热器将基板加热至1100°C

  • 基板冷却（液体和/或 LN2）

  • 用于涂覆基材两侧的样品翻转夹具

  • 薄膜成型工具（刀片安装在高精度计算机控制臂上）

  • 基板上的可转位磁场

  • 原位薄膜分析（光学过程监测仪、RHEED 或光谱椭偏仪）



售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
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科特莱思科物理气相沉积CMS系列的工作原理介绍

物理气相沉积CMS系列的使用方法?

科特莱思科CMS系列多少钱一台?

物理气相沉积CMS系列可以检测什么？

物理气相沉积CMS系列使用的注意事项？

科特莱思科CMS系列的说明书有吗？

科特莱思科物理气相沉积CMS系列的操作规程有吗？

科特莱思科物理气相沉积CMS系列报价含票含运吗？

科特莱思科CMS系列有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供科特莱思科电子束蒸发镀膜设备CMS系列，科特莱思科CMS系列产地为美国，属于物理气相沉积设备，除了电子束蒸发镀膜设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多物理气相沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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