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RIE等离子刻蚀系统

品牌：德国SENTECH

产地：德国

型号： SENTECH SI 500 CCP

报价：面议

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产品介绍

SENTECH SI 500 CCP 系统使用动态温度控制和氦背冷却，代表了材料蚀刻灵活性的优势。等离子体蚀刻过程中的衬底温度设置和稳定性是高质量蚀刻的严格标准。具有动态温度控制功能的衬底电极与氦气背面冷却和晶圆背面温度传感相结合，可在很宽的温度范围内提供出色的工艺条件。

主要功能与优势

材料蚀刻灵活性

从结构电介质到GaAs和InP等III-V族化合物，SENTECH SI 500 CCP RIE 等离子体蚀刻系统具有氦气（He）背面冷却功能，可在很宽的温度范围内（RT 至 250°C）工作。金属的物理蚀刻和量子材料（如石墨烯和hBN）的慢速蚀刻是可能的。

优异的工艺稳定性

他的背面冷却和动态温度控制通过防止基板加热来实现稳定的蚀刻。使用SENTECH自适应衬底处理，可以在不打开反应器的情况下，通过氦气背面冷却轻松处理小晶圆。

优异的均匀性

SI 500 CCP 在 RIE 模式下运行，带有喷淋头，可实现均匀的气体分布，可在高达 200 mm 的基材上提供出色的均匀性和一致的结果。

灵活性和模块化

SENTECH SI 500 CCP 是一种导电耦合等离子体（CCP）蚀刻系统，具有氦背面冷却功能，用于在 RIE 模式下处理衬底。它专为 III/V 和 Si 加工领域的模块化和工艺灵活性而设计。

该系统在不同技术的所有重要蚀刻工艺中都得到了充分的验证，并且可以执行各种蚀刻工艺。

SENTECH SI 500 CCP由先进的硬件和SIA操作软件控制，具有客户端-服务器架构。一个经过充分验证的可靠可编程逻辑控制器（PLC）用于所有组件的实时控制。

售后服务

产品货期： 60天

整机质保期： 1年

培训服务：安装调试现场免费培训

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工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

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公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国SENTECHRIE等离子刻蚀系统SENTECH SI 500 CCP，德国SENTECHSENTECH SI 500 CCP产地为德国，属于等离子体刻蚀设备，除了RIE等离子刻蚀系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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