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高真空电子束及热阻蒸发薄膜沉积系统

品牌: 沈阳科仪
产地: 辽宁
型号: DZS500
报价: 面议
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核心参数

仪器种类: 电子束蒸发镀膜机

产地类别: 国产

应用领域: 微电子学

基片尺寸: 50mmx50mm,1片

基片温度范围: 最高300℃

极限真空: ≤6.6E-5Pa

产品介绍
真空室结构:
U形前开门


真空室尺寸:

500x500x600mm


极限真空度:

≤6.67E-5Pa


沉积源:

4个11cc坩埚


样品尺寸,温度:

φ4英寸,1片,最高800℃


占地面积(长x宽x高):

约2.7米x1.7米x2.1米

电控描述:

全自动


工艺:
片内膜厚均匀性:≤±3%


特色参数 :
样品可自转,转速可调

产品概述:
系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热阻蒸发组件、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成,自动控制软件系统。

设备用途:
电子束蒸发可以蒸发高熔点材料,比一般电阻加热蒸发热效率高、 束流密度大、蒸发速度快,制成的薄膜纯度高、质量好,厚度可以较准确地控制,可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜




售后服务
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售;增减材制造设备的研发与销售;电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修;系统集成;办公室用品批发;实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品);国内贸易,货物及技术进出口;工程技术咨询服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让;一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);仪器仪表制造;实验分析仪器制造;通用设备制造(不含特种设备制造)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);国内货物运输代理;装卸搬运;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);通讯设备修理;运输货物打包服务;仪器仪表修理;信息系统集成服务;基于云平台的业务外包服务;金属制品修理;电气设备修理;通用设备修理;专用设备修理;通信传输设备专业修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);工业互联网数据服务;信息系统运行维护服务;通信交换设备专业修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务;第二、三类医疗器械的销售。

联系方式
深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供沈阳科仪高真空电子束及热阻蒸发薄膜沉积系统DZS500,沈阳科仪DZS500产地为辽宁,属于国产物理气相沉积设备,除了高真空电子束及热阻蒸发薄膜沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多物理气相沉积设备,客服电话,售前、售后均可联系。

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公司地址: 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人: 王雨 邮编: 518132

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