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核心参数
产地类别: 国产
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原子层沉积ALD
分子束外延MBE
SES系列 8英寸多片硅外延系统
1、适用于 5-150 微米范围的硅外延工艺
Advanced reactor for 5-150µm Silicon Epitaxy
2、先进的感应加热和气流场技术提供了优良稳定的工艺性能
Advanced induction heating and gas flow field technology provide excellent and stable process performance
3、多片平板式设计,高容载量
Multi-wafer horizontal design, high capacity
4、自动化程度高、产能高、低运营成本
High automation and throughput, lower CoO/CoC
技术参数
Technical Parameters
1、晶圆尺寸 4、5、6、8 英寸
Wafer size 4”5”6”8"
2、适用材料 硅
Applicable material Si
3、适用工艺 N&P 硅外延
Applicable process N&P type Si epitaxy
4、适用领域 科研、集成电路
Applied field R&D, IC
北方华创外延系统SES系列的工作原理介绍
外延系统SES系列的使用方法?
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企业名称
深圳市矢量科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91440300MA5G1QDA16
成立日期
2020-01-10
注册资本
500万人民币
经营范围
散热材料的研发与销售;增减材制造设备的研发与销售;电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修;系统集成;办公室用品批发;实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品);国内贸易,货物及技术进出口;工程技术咨询服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让;一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);仪器仪表制造;实验分析仪器制造;通用设备制造(不含特种设备制造)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);国内货物运输代理;装卸搬运;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);通讯设备修理;运输货物打包服务;仪器仪表修理;信息系统集成服务;基于云平台的业务外包服务;金属制品修理;电气设备修理;通用设备修理;专用设备修理;通信传输设备专业修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);工业互联网数据服务;信息系统运行维护服务;通信交换设备专业修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务;第二、三类医疗器械的销售。
公司地址
深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801
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公司名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
公司地址: 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人: 王雨 邮编: 518132
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