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深圳市矢量科学仪器有限公司

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高真空互联物理气相薄膜沉积系统

品牌： 矢量科学
产地： 广东
型号： SLKX-102-11
报价： 面议
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核心参数

仪器种类： 其他

成膜厚度均匀性： 4英寸镀膜区域内片内膜厚不均匀性：≤±2.5%，8英寸镀膜区域内片内膜厚不均匀性：≤±3.5%

产品介绍

概述：沉积系统可用于制备光学薄膜、电学薄膜、磁性薄膜、硬质保护薄膜和装饰薄膜等，工艺性能稳定、模块化结构，采用行业最好的软件控制系统；4英寸镀膜区域内片内膜厚不均匀性：≤±2.5%，8英寸镀膜区域内片内膜厚不均匀性：≤±3.5%，测定标准以Ti靶材，溅射200——500nm厚薄膜，边缘去5mm，随机5点取样测定为准。

样品托面中心到地面的高度约1360mm；

镀膜材料适用于：Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta、Ti、Al、Si、Cu、Fe、Ni、氧化铝，氧化钛，氧化锆，ITO，AZO，氮化钽，氮化钛等；

PVD平台概述：既专注单一功能、又可通过拓展实现多平台联动：

1、 关键部件接口都为标准接口，可以通过更换功能单元实现电子束、电阻蒸发、有机蒸发、多靶或单靶磁控溅射、离子束、多弧、样品离子清洗等功能；

2、 系统平台为准无油系统，提供更优质的超洁净实验环境，保障实验结果的可靠性和重复性；

3、 系统可以选择单靶单样品、多靶单样品等多层沉积方式；

4、 靶基距具有腔外手动调节功能；

5、 系统设置一键式操作，可以实现自动手动切换、远程控制、远程协助等功能；

6、 控制软件分级权限管理，采用配方式自动工艺流程，提供开放式工艺编辑、存储与调取执行、历史数据分析等功能，可以不断更新和升级；

7、 可以提供网络和手机端查询控制功能（现场要具备局域网络），实现随时查询数据记录、分析统计等功能；

8、 节能环保，设备能耗优化后运行功率相比之前节能10%；；

9、 可用于标准镀膜产品小批量生产。

   互联系统技术描述

    真空互联系统由物理气相沉积磁控溅射系统A、物理气相沉积磁控溅射系统B、物理气相沉积、电子束及热阻蒸发镀膜系统A、物理气相沉积电子束及热阻蒸发镀膜系统B、进样室、出样室、传输管、机械手等组成，可以实现样品在真空环境下不同工艺方法的样品薄膜制备和传递。


售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
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矢量科学物理气相沉积SLKX-102-11的工作原理介绍

物理气相沉积SLKX-102-11的使用方法?

矢量科学SLKX-102-11多少钱一台?

物理气相沉积SLKX-102-11可以检测什么？

物理气相沉积SLKX-102-11使用的注意事项？

矢量科学SLKX-102-11的说明书有吗？

矢量科学物理气相沉积SLKX-102-11的操作规程有吗？

矢量科学物理气相沉积SLKX-102-11报价含票含运吗？

矢量科学SLKX-102-11有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供矢量科学高真空互联物理气相薄膜沉积系统SLKX-102-11，矢量科学SLKX-102-11产地为广东，属于物理气相沉积设备，除了高真空互联物理气相薄膜沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多物理气相沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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