薄膜测厚仪

SGC-10薄膜测厚仪

仪器介绍:  

SGC-10薄膜测厚仪，适用于介质，半导体，薄

膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。该薄

膜测厚仪，是我公司与美国new-span公司合作研

制的，采用new-Span公司先进的薄膜测厚技术，

基于白光干涉的原理来测定薄膜的厚度和光学常数

(折射率n，消光系数k)。通过分析薄膜表面的反射

光和薄膜与基底界面的反射光相干形成的反射谱，

用软件来拟合运算，得到单层或多层膜系各层的厚

度d，折射率n，消光系数k。该设备关键部件均为

国外进口，也可根据客户需要整机进口。

基本配置及参数：

强大的软件功能：

界面友好，操作简单，用户点击几下鼠标就可以完成测量。便捷快速的保存、读取测量得到的反射谱数据，数据处理功能强大，可同时测量多达四层的薄膜反射率数据。一次测量即可得到四层薄膜分别的厚度和光学常数等数据，材料库包含了大量常规的材料光学常数数据。用户可以非常方便地自行扩充材料数据库。

产品功能适用性：

该仪器适用于多种介质，半导体，薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。

典型的薄膜材料为：

SiO2、CaF2、MgF、光刻胶、多晶硅、非晶硅、SiNX、TiO2、聚酰亚胺、高分子膜。

典型的基地材料为：

SiGe、GaAs、ZnS、ZnSe、铝丙烯酸、蓝宝石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。

仪器具有开放性设计，仪器的光纤探头可很方便地取出，通过仪器附带的光纤适配器（如图所示）连接到带C-mount适用于微区（>10μm，与显微镜放大率有关）薄膜厚度的显微镜（显微镜需另配），就可以使本测量仪测量。