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核心参数
仪器种类： 原子力显微镜
产地类别： 进口
仪器类型： 工业型
定位检测噪声： ≤ 35pm RMS
样品尺寸： 150mm&200mm dia.
样品台移动范围： 200mm×200mm
软件： Nanosurf software
工业大样品晶圆级检测原子力显微镜
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