国产电镜配件保障半导体厂电镜设备运行

在电子显微镜使用行业里，半导体和新能源是目前工业领域里使用电子显微镜增长最快的行业。而半导体厂又是微观研究和工业化的最优代表的行业，对微观研究和分析的工具要求更具有代表性。

在芯片厂里的分析主要是以下几个方面：

芯片线路修改

微观结构分析

材料表征

而使用的工具主要有：

TEM透射电镜

SEM扫描电镜

Dual Beam FIB 双束聚焦离子束

XPS X射线能谱分析仪

AFM 原子力显微镜

EMMI微光显微镜

在半导体厂里，不仅仅在生产的失效分析需要，而很多工艺研究，技术改进都需要用到这些工具。由于对快捷性和保密性的要求比较高，所以半导体厂一般都是在厂内完成这些工作，而对设备的稳定运行要求就比较高。

目前在半导体厂使用的电子显微镜主要以ThermoFisher原FEI的产品为主，比如走进半导体厂的电镜实验室，你会发现从Apreo 2 SEM 、Verios5 XHR的扫描电镜，Spectra、Talos透射电镜，Helios  5 EXL Helios 5 DualBEAM双束聚焦离子束，Centrios HX 电路编辑系统以及到AFM和XPS都在应用。

大束科技（北京）有限责任公司有自主研发的热场发射电子源、有液态镓离子源，有Suppressor和EXTRACTOR以及APERTURE等。同时大束科技拥有一支经验丰富的工程师，可以保障半导体厂电子显微镜现场服务调试，同时提供驻厂服务。同时大束科技拥有维修能力，可以对电子光学部件，比如镜筒部分的维修，以及各种电路的维修，尤其电子光学部分，如果有故障，返回原厂维修需要时间很长，价格也比较贵。而电子显微镜技术服务需要有充足的配件保障，并且具有一定的时效性，大束科技正是具备了从技术的时效的保障。

大束科技的国产配件+服务团队+配件维修能力+大量的配件库存是为半导体厂提供良好服务的基础。

半导体企业在使用电镜过程中如果遇到问题，不仅仅限于ThermoFisher的电子显微镜产品，任何品牌都可以咨询。