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FEI quanta 250 FEG型环境扫描电镜灯丝维修更换
灯丝作为扫描电镜的重要部分之一，寿命受到镜筒真空度、灯丝电流密度、灯丝质量及样品性质等各方面因素的影响。记录灯丝更换前后状态参数的变化，总结分析灯丝更换过程中所遇问题及原因，探讨延长仪器使用寿命的方法，以期为使用该类扫描电镜的同仁们提供一些参考。
灯丝更换
FEI quanta 250 FEG型环境扫描电镜灯丝是表面沉积有氧化锆的钨单晶，该灯丝电子束发射电流稳定且电流值较大，能够同时满足本型号电镜的3种真空模式及能谱仪的工作需求。新灯丝发射电流约为70～80μA，在使用过程中电流值将会逐渐增大。持续工作约22000h，灯丝电流的增幅明显提高。当灯丝电流增大至270～280μA时，测试过程中采集的图像，噪点明显增多，分辨率下降，像散严重，机器难以聚焦。继续使用，当工作22210h左右时，仪器其它参数正常，但灯丝电流骤然减小到OμA，机器无法工作。
大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。
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