X荧光光谱测厚仪定量分析技术难点

一六仪器

2022/08/26 16:23

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　　市电升成高压到射线管，利用高速电子撞击靶材产生原级X射线，原级X射线经过聚焦、滤光、准直后打到样品上，激发出各种元素的特征X射线，接收器接收后，对数据进行数模转换，由计算机进行定性、定量分析。通过检测到的光子数量，可以对被测物进行定量分析。但是实际分析中很多学者和厂家难以解决以下几个技术难点，跟着X荧光光谱测厚仪生产厂家一六仪器来了解一下吧。

　　定量分析技术难点一：射线具有一定的穿透能力，由图中可以看出，每一层的特征X射线在出射过程中，都会产生相互的干扰，例如：C层的特征射线在进入到接收器以前，将收到B、A两层的吸收和增强效应的影响。

X荧光光谱测厚仪

　　定量分析技术难点二：要计算每一层的荧光强度与镀层厚度之间的关系，将是一个非常复杂的计算公式，如下式：

　　定量分析难点三：随着镀层层数或者元素种类的增加，越靠近内层的镀层或者元素检测误差越大;同时外层镀层元素也将受到内层的影响，测试精度也将大大下降。为解决多镀层多元素的影响，往往在实际的应用中，考虑更多的影响元素迭代算法(即Fp、EFp法)同时，采用实际相近的涂镀层、成分的样品做比较测量(即采用标准曲线法对比测试的方法)，这样可以相应减少各层各元素之间干扰所引起的测试精度的问题。

　　很多学者无法完整考虑到里面的复杂关系，而且随着计算机计算能力的发展，算法还在继续完善和演进。

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