梅特勒托利多：集成电路制造工艺的关键参数如何保障？

12月15日，2021年中国半导体设备年会暨重庆半导体产业创新发展论坛在重庆召开。梅特勒-托利多（上海）国际贸易有限公司市场专家汪志勇以《集成电路制造工艺中的关键参数控制》为主题发表了演讲。

从目前中国集成电路产业概况来看，产能紧缺的情况前所未有，建厂盛况空前。这也带动了包括半导体设备、晶圆代工产业的增长。根据具体数据来看，前三季度全球设备出货增长46%，中国则增长56%。中国半导体行业销售额保持两位数增长，预计2021年市场规模将超万亿。预计晶圆代工厂销售至2025年将保持约11%的复合增长率。

在这个过程中，集成电路产业也得以不断突破，产能升级带动扩产建厂，产业融资渠道在不断扩大，包括光刻胶/电子特气在内半导体技术实现了突破，国产化设备浪潮来临。

汪志勇介绍，在集成电路制造工艺当中仍存在着一些障碍，在这其中，良率是工艺制程的重要指标，新节点研发和验证需要良率支撑，良率提升对于经济效益影响巨大，而影响良率的则是与之对应的工艺、设备和材料。

就材料领域而言，超纯水、电子化学品以及电子气体是影响工艺良率的重要因素。以超纯水为例，超纯水是湿制程过程中的重要应用。在19世界70年代，清洗步骤在20个左右，而到了2021年，这个步骤多达100-500个，在这个过程中对超纯水提出了新的质量要求。超纯水的标准包含很多参数，包括TOC、溶解氧等等，一些参数的要求都是PPB级别，10亿分之一的含量，如果对超纯水的控制没有非常完备，实际清洗过程可能会导致短路。

这就需要相关的检测机构来保障工艺制造过程中对相关材料的质量认证。梅特勒-托利多便是其中之一。

梅特勒-托利多是全球领先的精密仪器及衡器制造商与服务供应商，其产品适用于实验室、制造业和零售服务业，可为世界各地的客户提供各种精密仪器、仪器和服务，用于研发、质量控制、生产、物流和零售等诸多应用。目前，梅特勒-托利多拥有16200名员工，营业额达到了30亿美元，市场组织遍布全球40多个国家。

根据汪志勇介绍，梅特勒-托利多的产品在半导体行业用来检测的主要是针对三个方面，最开始的超纯水检测，包括pH/ORP、电子化学品浓度/水分/密度/pH等等进行检测，同时还有很多晶圆厂对电子化学品进行配料，也会有原料计量、料位监控/配料控制，浓厚在线监控。最后电子气体类似，使用过程中有配气的过程也是同样的解决方案。

中国也是梅特勒-托利多所重视的市场之一，为此，公司在上海、常州、成都等地设立了制造基地及研发中心，并拥有遍布全国的销售及服务网络。