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以旧换新福利 | 超纯水在线监控你都做到了吗?

梅特勒-托利多

2021/10/22 09:19

阅读:29

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随着人工智能(AI)、智能通信(5G)、物联网(loT)和大数据驱动飞速发展,市场对于芯片的尺寸和质量要求,都在发生着质的飞跃。

超纯水(UPW)是确保微电子行业高效生产的基石之一,对制造过程和产品质量有着至关重要的作用。

如何对水质异常进行快速响应,避免问题水质影响更多的制程工艺;如何对异常情况进行排查和解决?这些问题是该行业面临的较大挑战。

同时,由于行业标准SEMI F63更新了对UPW的最新要求(见图表1),这都表明了,超纯水UPW在线实时监控不可或缺

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*图表1

面对日益严峻的挑战,梅特勒托利多THORNTON,早在1964年便处于超纯水监控的技术前沿,专业提供微电子行业中电阻率、TOC、微生物、pH、ORP、DO、硅/钠、臭氧等重要参数的在线实时测量。

下面小梅将一一为您解析超纯水在线监控的解决方案!

TOC监测

精准低量程的TOC测量是关键


芯片、面板在生产过程中,会受到有机污染物的影响,从而导致良品率的降低;电子级湿化学品作为生产的源头,更需要确保溶液中有机物的含量。

梅特勒托利多 THORNTON 总有机碳分析仪(6000TOCi)可以为微电子生产商提供实时在线的TOC监控方案

THORNTON作为在线电导率传感器的先驱,依托电导率测量基础,提供基于直接电导率差值法的TOC监控方式,用于解决微电子行业超纯水和回用水的测量问题。

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6000TOCi具有以下特点:


分体式设计,兼顾测量和操作 

原位比对校准,无需拆卸 

多通道多参数,可同时控制,如电阻率、溶解氧、pH、流量等 

直接电导法,实现极低的后期维护 

“Auto Balance” 技术确保低限测量精度 

快速启动,数据实时更新

6000TOCi作为梅特勒托利多THORNTON的明星产品,我们提供梅特勒托利多原厂专业团队的服务,提供超值的以旧换新服务,以合理的价格帮客户替换性能不良、使用寿命较长的设备,解决企业的后顾之忧。

电阻率

一只电极适用于所有水处理环节


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梅特勒托利多UniCond® 技术提升了在电阻率测量过程中传感器的性能和精度,同时拓展了量程一只电极可以满足整个半导体行业的制水工艺不同的测量需求。

高精度,抗干扰

智能管理技术,优化电极使用

即插即测,无需手动配置

光学溶氧传感器监测

无需极化、快速响应


在UPW系统中有非常多的用户需要确保水中溶解氧气处于微量级别,梅特勒托利多光学溶氧传感器,可以在快速响应的基础上提供痕量溶解氧测量。

非电化学原理,不受水中还原性物质影响

不用极化,耗材少,维护简单

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面对日益严苛的水质要求,您的超纯水在线监测都做到了吗?

梅特勒托利多作为水质分析的专家,不间断守护您的水质安全!

我们特意开展了

“ TOC总有机碳分析仪以旧换新 ”活动

完整登记您的信息,将有机会获取

精美野餐垫一份

共计50份,先到先得哦

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一键直达活动地址!

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活动说明:

活动截止日期:2021年12月31日

活动对象:微电子行业客户(包含且不限于芯片,平板显示器,电子级化学品等)

本活动最终解释权归梅特勒托利多所有。


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