从抽检到全检，SEC推出其X-RAY和电镜半导体封装测试方案

SEMICON CHINA 是中国首要的半导体行业盛事之一，它囊括当今世界上半导体制造邻域主要的设备和材料厂商。2021年3月17日，SEMICON CHINA 2021在上海新国际博览中心隆重召开。上海赛可检测设备有限公司（SEC）也携其X-RAY和电镜产品亮相SEMICON CHINA 2021。

上海赛可检测设备有限公司是韩国赛可检测设备有限公司（SEC）在中国的子公司。据了解，韩国赛可于1991年在韩国水原市成立，专业从事工业在线半导体封装设备、X-RAY检测机、SEM（台式扫描电镜）和加速器四类产品的研发和生产。本次SEMICON CHINA 2021展会带来的是在半导体封装测试中使用最多的X-RAY和电镜产品。而在本次展会上，我们有幸采访了上海赛可检测设备有限公司总经理丁光声。

SEC公司自1991年创业至今到现在，已经历30多年的历史。 SEC在创业初期的10年间以自动化生产设备为主要产业项目不断发展壮大。1999年研发并生产LCD驱动芯片贴片回流封装设备在韩国LTD领域封装设备市场一举占领70%的市场份额。 2000年开始着手研发SMT行业的新兴设备X射线检测设备和扫描电子显微镜，并于2002年完成了X射线检测设备的研发并成功推上市场。赛可在韩国的客户覆盖了三星、LG、SK-海力士等知名半导体厂和电子厂，在国外也获得了AMKOR等客户。

兼容2D，3D的晶圆级X-RAY检测机

赛可的X-RAY检测机广泛应用于半导体封装中的内部缺陷检测，主要分为“开放式光管”和“封闭式光管“两大类，是韩国第一家也是唯一一家能生产X-RAY核心部件光管的企业，相关技术处于世界领先的地位。赛克的晶圆级检测设备如NF120搭载了200nm级别开管式光管以实现无损检测。丁光声表示，相比于同类型产品，赛可的晶圆级检测设备采用脉冲式照射，大大减少了X射线对检测样品的损伤。

赛可（SEC）X-RAY检测设备 NF120

据了解，赛可的X-eye NF120 Series搭载了200nm的Nano-focus Tube，广泛应用于要求检测Sub-micron单位不良的半导体封装即Wafer level packaging(WLP)领域里，在Wafer level工艺中，可对TSV，Micro-bump，Cu pilar等产生的超细微不良进行自动检测。SEC独有的3D CT用Auto Collimation及Filtering技术实现X-ray damage free（无损检测），可安全检测存储半导体芯片。此外，这款仪器可同时兼容2D，3D自动检测。

具有-45°~90°倾斜度的钨灯丝小型化扫描电镜

作为韩国首家台式电镜生产厂家，赛可先后开发出了SNE-3200M、SNE-3000MS和SNE-4500M Plus型号的台式扫描电镜。

赛可（SEC）SNE-4500M Plus 台式扫描电镜

赛可最新的SNE-4500M Plus台式扫描电镜实现了落地式钨灯丝扫描电镜的小型化，可以更真实地反应出样品表面形貌信息，对不耐电子束辐照的样品损伤小。由于加速电压范围宽，这款仪器适合各种样品的形貌观察及元素分析。此外，这款仪器还能实现二次电子和背散射电子同时成像，兼具高、低真空模式，标配五轴全自动马达台，有利于多角度精细地观察样品，具有-45°~90°大范围的倾斜角度，可以在不更换特定样品台的情况下直接进行截面观察。

从抽检到全检，SEC将发力电池行业

2009年，赛可在中国设立办事处，并随着韩国半导体企业在中国设厂而进入中国市场。2018年底，赛可在上海成立分公司，主攻中国国内企业，以求进一步打开中国市场。据介绍，赛可在中国的客户主要是半导体产业的三星、SK-海力士、UTAC等企业，去年更是获得了江阴长电的晶圆级X-RAY订单。

谈到中国封测产业的未来发展时，丁光声表示，随着芯片越来越小，性能越来越高，对先进封装的要求也越来越高，未来封测将由抽检转向全检，同时对全检的要求也将越来越高。伴随着中国工厂的技术飞速进步，封装在线检测设备在中国将迎来快速发展。未来，赛可在中国将发力与新能源产业紧密相连的电池行业。