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核心参数
产地类别: 国产
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SMEE 200系列光刻机 —— TFT曝光
SSB200系列投影光刻机采用投影光刻机平台技术,用于AM-OLED和LCD显示屏TFT电路制造,可应用于2.5代~6代的TFT显示屏量产线。该系列设备具备高分辨率、高套刻精度等特性,支持6英寸掩模,显著降低用户使用成本。
产品特征
● 高精度,分辨率可达1.5μm
● 支持小Mask,可用6英寸掩模实现12英寸屏幕制造
● 具备智能化校准及诊断功能,方便设备参数校调及用户周期性维护
主要技术参数
型号
分辨率
套装精度
基板尺寸
SSB225/10
2μm L/S
0.6μm
370mm×470mm
500mm×500mm
SSB225/220
1.5μm L/S
0.5μm
SSB245/10
730mm×920mm
SSB245/20
SSB260/10T
1300mm×1500mm
1500mm×1850mm
SSB260/20T
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企业名称
上海品测精密仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310120MA1HLYJG3Q
成立日期
2017-01-09
注册资本
1000
经营范围
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