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上海品测精密仪器有限公司

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Film Sense 多波长椭偏仪 FS-1™

品牌： Film Sense
产地： 美国
型号： FS-1
报价： 面议
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核心参数

产地类别： 进口

产品介绍
简介
Film Sense FS-1™多波长椭偏仪采用4个LED光源和无移动部件的探测器，能在1秒内精确测量0-1000nm的透明薄膜厚度及折射率，适用于半导体、光学薄膜、显示屏等行业及工艺研发和工业在线监测等领域，具有精度高、稳定性好、操作简便等优点。

Film Sense 多波长椭偏仪 FS-1™


 Film Sense FS-1™多波长椭偏仪采用寿命长， LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量，就可以获得准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。

  Film Sense FS-1™多波长椭偏仪 这款功能强大的多波长椭偏仪，FS-1可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域。

主要特点

1. 4 个 LED 光源：蓝色（465nm），绿色（525nm）， 黄色（580nm），红色（635nm）。

2. 椭偏仪探测器中无可移动部件。

3. 大多数样品精密度在于 0.001nm（1 秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm。

4. 集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平板电脑。

优势

1. 寿命长（长达50,000小时），更换 LED 灯便宜，校准时间短或无需PM程序

2. 快速测量（10ms 内获得多波长数据）和长期性能稳定

3. 测量准确，椭偏仪可以实现

4. 软件设置和维护简单

标准 FS-1 配置

1. 65°入射角

2. 手动放置样品和调节高度

3. 样品尺寸最大直径200mm 和厚度23mm

4. 样品偏转范围+/-20

5. 样品上光束尺寸 5 x 12 mm

6. 结构紧凑(180 x 400 mm) 和轻巧(4.8 kg)

 

性能

    FS-1多波长椭偏仪擅长测量膜厚范围 0-1000nm 的透明单一薄膜的厚度和折射率。下表列出的是针对各种不同样品，包括多层膜样品。

应用领域

1. 半导体行业：二氧化硅和氮化物，高介电和低介电材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻胶。

2. 光学薄膜行业：高和低指数薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 等。

3. 显示屏行业：TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有机薄 膜（OLED 技术）。

4. 数据存储行业：宝石，如碳膜。

5. 工艺研发：原位表征薄膜沉积（速率和光学常数） VS 工艺条件，可兼容 MBE, MOCVD, ALD 和磁控溅射等设备。

6. 化学和生物：在液体细胞实验中探测亚单原子层材料吸附。

7. 工业：在线监测和控制膜厚。


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 是
现场技术咨询： 有
免费培训： 不限人次免费安装培训
免费仪器保养： 可根据客户使用程度制定仪器保养计划
保内维修承诺： 非人为损坏免费保修
报修承诺： 24小时内进行响应48小时内出解决方案
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Film Sense椭偏仪FS-1的工作原理介绍

椭偏仪FS-1的使用方法?

Film SenseFS-1多少钱一台?

椭偏仪FS-1可以检测什么？

椭偏仪FS-1使用的注意事项？

Film SenseFS-1的说明书有吗？

Film Sense椭偏仪FS-1的操作规程有吗？

Film Sense椭偏仪FS-1报价含票含运吗？

Film SenseFS-1有现货吗？

工商信息

企业名称

上海品测精密仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

91310120MA1HLYJG3Q

成立日期

2017-01-09

注册资本

1000

经营范围

上海品测精密仪器有限公司为您提供Film Sense 多波长椭偏仪 FS-1™，Film SenseFS-1产地为美国，属于进口椭偏仪，除了Film Sense 多波长椭偏仪 FS-1™的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多椭偏仪,上海品测精密仪器客服电话400-860-5168转4705，售前、售后均可联系。
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