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激光镀膜设备介绍：
激光镀膜设备系统由真空腔室（主溅射室、进样室）、样品传递机构、样品架、旋转靶台、真空排气、真空测量、电器控制、配气、计算机控制等各部分组成。激光镀膜设备广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。
激光镀膜设备用途：
激光镀膜设备用于生长光学晶体、铁电体、铁磁体、超导体和有机化合物薄膜材料，适用于生长高熔点、多元素及含有气体元素的复杂层状超晶格薄膜材料。广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。
激光镀膜设备参数：
主真空室 | 球型结构，尺寸? 450mm | |
进样室 | 圆筒型立式结构，尺寸? 150x 150mm | |
真空系统配置 | 主真空室 | 分子泵与机械泵，阀门 |
进样室 | 分子泵与机械泵（与主真空室共用），阀门 | |
极限压力 | 主真空室 | ≦6*10-6Pa（经烘烤除气后） |
进样室 | ≦6*10-3Pa（经烘烤除气后） | |
恢复真空时间 | 主真空室 | 20分钟可达到5*10-3Pa（系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气） |
进样室 | 20分钟可达到5*10-3Pa（系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气） | |
旋转靶台 | 靶材*大尺寸约60mm；可一次安装4块靶材，可实现公转换靶;每块靶材可自转，转速5~60转/分 | |
基片加热台 | 样品尺寸 | ?51 |
运动方式 | 基片可连续回转，转速5~60转/分 | |
加热温度 | 基片加热zui高温度800Ｃ±1 C，可控可调 | |
气路系统 | 质量流量控制器1路，充气阀1路 | |
可选部件 | 激光器装置 | 配相干201激光器 |
激光束扫描装置 | 二维扫描机械平台，执行两自由度扫描 | |
计算机控制系统 | 控制的内容主要有公转换靶，靶自转，样品自转、样品控温、激光束扫描等 | |
设备占地面积 | 主机 | 1800 * 1800mm2 |
电控柜 | 700 *700mm2（1个） | |
企业名称
武汉赛斯特精密仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
420102000505809
成立日期
2016-06-17
注册资本
1000
经营范围
仪器仪表及设备、检测仪器、分析仪器、电子工业专用设备、第一类、第二类医疗器械、电力设备、电气设备、实验设备及耗材、新能源电池检测仪器及设备、机电设备、机械设备、办公自动化设备、新能源设备、电脑设备及耗材、办公设备、监控设备、数码产品、电子产品的研发、销售、技术咨询、技术服务及售后服务；建筑材料、五金交电、化工产品（不含化学危险品）的销售；环境工程设计、施工；计算机软硬件系统设计及技术服务；货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。（依法须经审批的项目，经相关部门审批后方可开展经营活动）
武汉赛斯特精密仪器有限公司
公司地址
江岸区兴业路136号工业厂房(二期)1栋12层车间1
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