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晶圆薄膜应力测试仪
主要特点：
l 快速、非接触式测量；
l 样品台可通用于3至8寸晶圆，128L型号适用于12寸晶圆，128G 型号适用于470 X 370mm样品，另可按要求订做；
l 利双激光自动转换技术：如某一波长激光在样本反射度不足，系统会自动使用另一波长激光进行扫瞄，满足不同材料的应用；
l 全自动平台，可以进行2D及3D扫瞄（可选)；
l 可加入更多功能满足研发的需求：电介质厚度测量，光致发光激振光谱分析（III-V族的缺陷研究）；
l 500 及 900°C高温型号可选；
l 样品上有图案亦适用；
l 薄膜应力范围: 1 MPa — 1.4 GPa。
晶圆薄膜应力测试仪
室温系统 | FSM 128 | 大样品直径200mm |
FSM 128L | 大样品直径300mm | |
FSM 128G | 大样品550×650mm | |
变温系 | FSM 500TC | 电阻加热工作台：温度可控，高500℃ |
FSM 900TC-vac | RTP型腔室：温度可控，高900℃（可选1100℃）；真空达到 1E-6 Torr |
武汉赛斯特精密仪器有限公司是武汉市专业研发，以力学试验机仪器为主，同时销售各种、中低端分析仪器。现有员工60多人，公司成功开发了PCI放大采集卡和中文版试验软件，并采用全数字化，操作简捷，完全符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等标准、国家标准、行业标准的要求，公司亦通过了ISO9001质量体系认证和国家计量体系认证，荣获了“武汉市第九界消费者满意单位”的称号。
企业名称
武汉赛斯特精密仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
420102000505809
成立日期
2016-06-17
注册资本
1000
经营范围
仪器仪表及设备、检测仪器、分析仪器、电子工业专用设备、第一类、第二类医疗器械、电力设备、电气设备、实验设备及耗材、新能源电池检测仪器及设备、机电设备、机械设备、办公自动化设备、新能源设备、电脑设备及耗材、办公设备、监控设备、数码产品、电子产品的研发、销售、技术咨询、技术服务及售后服务；建筑材料、五金交电、化工产品（不含化学危险品）的销售；环境工程设计、施工；计算机软硬件系统设计及技术服务；货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。（依法须经审批的项目，经相关部门审批后方可开展经营活动）
武汉赛斯特精密仪器有限公司
公司地址
江岸区兴业路136号工业厂房(二期)1栋12层车间1
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