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使用显微光谱法在微小区域内通过绝对反射率进行测量,可进行高精度膜厚度/光学常数分析。
可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上,能达到1秒/点的高速测量,并且搭载了即使是初次使用的用户,也可容易出分析光学常数的软件。
特点:
· 头部集成了薄膜厚度测量所需功能· 通过显微光谱法测量高精度绝对反射率(多层膜厚度,光学常数)· 1点1秒高速测量· 显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)· 区域传感器的安全机制· 易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析· 独立测量头对应各种inline客制化需求· 支持各种自定义
OPTM-A1
OPTM-A2
OPTM-A3
波長范围
230 ~ 800 nm
360 ~ 1100 nm
900 ~ 1600 nm
膜厚范围
1nm ~ 35μm
7nm ~ 49μm
16nm ~ 92μm
测定时间
1秒 / 1点
光斑大小
10μm (最小约5μm)
感光元件
CCD
InGaAs
光源規格
氘灯+卤素灯
卤素灯
电源規格
AC100V±10V 750VA(自动样品台规格)
尺寸
555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分)
重量
约 55kg(自动样品台规格之主体部分)
企业名称
光谱时代(北京)科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91110105597678710T
成立日期
2012-06-06
注册资本
500
经营范围
技术开发、技术咨询、技术转让、技术推广、技术服务;软件开发;产品设计;设计、制作、代理、发布广告;销售仪器仪表、电子产品、机械设备、化工产品(不含危险化学品);货物进出口、技术进出口、代理进出口。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)
公司地址
北京市丰台区海格通信产业园D-406
客服电话
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公司名称: 光谱时代(北京)科技有限公司
公司地址: 北京市丰台区海格通信产业园D-406 联系人: 光谱时代 邮编: 100024 联系电话: 400-860-5168转4674
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