第一代10μm精度设备明星产品S140系列,搭载创新的PμSL技术,突破精密制造的技术瓶颈。配备光学监控系统、自动对焦功能,实现±10~25μm高公差控制能力,解决跨尺度微纳加工难题,已在国内科研高校装机超过百台。
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