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2020-07-27 17:24

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NanoX-2000采用垂直扫描干涉和移相干涉技术，实现对样品表面粗糙度、台阶高度、表面轮廓、关键部位及其形貌特征的纳米级三维精密测量。广泛应用于集成电路工艺、航空航天、太阳能电池工艺、材料表面工程、MEMS、超精密加工等领域。
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