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核心参数
产地类别： 进口
Thermionics 真空操作台 线性操作台 二维操作台 三维操作台 机械手 真空三维机构 真空样品台
FM系列复合精密机械手是使用两个波纹管的XYZ单元。XY波纹管内径为2.5英寸，3英寸和4英寸，这是标准配置，内径可能达到6.3英寸内径。这些单位可提供±0.5“或±1”的X和Y行程。它们可以提供达到36英寸或再大一些的Z行程，标准的Z波纹管ID为1.39英寸和1.87英寸。
非旋转管状探针也可以在Z级基座的底部配备稳定的线性轴承。这样可以使探头组件更稳定，有效的“杠杆臂”更短。
该探头选件提供了一条无心，接地，空心的不锈钢管，该管穿过操纵器波纹管的中心延伸。该探头通过双面法兰安装在行进法兰上，可以轻松拆卸以进行设备安装。该管由安装在Z行驶系统底部的不锈钢线性轴承稳定。该轴承大大提高了探头的稳定性。
此外，可以将差动泵送的旋转密封件安装到这些机械手。它们为客户的设备提供了更大的旋转自由度。可以修改探针轴承，以允许探针极旋转以及极轴线性移动。该系统提供了一种出色的公用设施交付方法，而无需在真空中进行公用设施管线的移动。
技术指标
X和Y轴
X和Y行程±0.5英寸或±1英寸，圆形，标准
预装千分尺级耦合，
0.0001英寸微米划分大的鼓式千分尺（公制千分尺可选）
所有XY轴承可调
Z轴
2英寸至36英寸Z行程
变速箱Acme驱动器，0.100英寸/圈（10圈/英寸）
0.001英寸刻度，预紧丝杠和蜗杆
位置锁定
扩展背架
基础法兰
6“ OD UHV基础法兰
游动法兰
2.75英寸外径行进法兰
特征
整个过程中均采用硬化不锈钢轴承和导向杆
烘烤温度：<=200°C
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企业名称
皕赫科学仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91310114062543297Y
成立日期
2013-02-07
注册资本
人民币1000.0000万元整
经营范围
许可项目:货物进出口;技术进出口;进出口代理。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:仪器仪表、电子设备、机械设备、工业自动化设备、五金产品、电线电缆、金属材料、电子产品、办公用品、劳防用品、汽车饰品、家居用品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)的销售,从事科学仪器技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务，仪器仪表租赁(不得从事金融租赁),机械设备、机电设备维修(除特种设备)。(除依法顺经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
皕赫科学仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市嘉定区昌吉路156弄32号楼
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