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荫罩掩膜对准器 Shadow Mask Aligner
设备简介：
本设备可以用于精确和可重建性的对准荫罩掩膜和晶圆。可以放于真空腔体用于PVD工艺。沉积后，夹盘可以打开，晶圆和掩膜可以不破坏的分离，并且掩膜板可以重复利用。
夹盘可以用于任何基底尺寸以满足用户的要求，并且我们也可以提供精确和经济的由金属、硅、玻璃、陶瓷等制造的荫罩掩膜。
产品型号：SMA-100，SMA-150，SMA-200
晶圆和荫罩尺寸：100mm,150mm,200mm，取决于设备的配置
样品台特征：
X和Y方向范围：步进10μm，灵敏度2μm
Z方向范围：步进10μm，灵敏度2μm
旋转角度：360°不间断
倾斜：工厂校准，工程师手动调节
对准精度（溅射后）
线性对准：典型值6μm， ZUI大值10μm
旋转对准：0.001°到0.009°
夹盘
晶圆尺寸：100mm,150mm,200mm
夹盘材料：阳极氧化铝或非阳极氧化铝
夹盘厚度：20mm取决于晶圆和掩膜的厚度
荫罩掩膜（客户可定制荫罩掩膜）
材料：硅、石英、玻璃、金属、陶瓷
仪器尺寸：500mm x 250mm
安装需求：用于对准过程中用来观察的显微镜、真空
注：可以根据用户的需求进行定制。
优点：
精确和可重建性的PVD涂层构建
用于PVD的减震夹盘
易用、对晶圆无损夹持机构
由于真空夹持，可以在对准的过程简单操作
可以用于不同的晶圆尺寸
不需要安装
低运行成本
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企业名称
皕赫科学仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91310114062543297Y
成立日期
2013-02-07
注册资本
人民币1000.0000万元整
经营范围
许可项目:货物进出口;技术进出口;进出口代理。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:仪器仪表、电子设备、机械设备、工业自动化设备、五金产品、电线电缆、金属材料、电子产品、办公用品、劳防用品、汽车饰品、家居用品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)的销售,从事科学仪器技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务，仪器仪表租赁(不得从事金融租赁),机械设备、机电设备维修(除特种设备)。(除依法顺经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
皕赫科学仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市嘉定区昌吉路156弄32号楼
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