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简介：
在MEMS制造中，经常需要对两个芯片进行精确对准和键合以建造三维结构。
芯片键合机可以用来手动键合两个芯片。
通过芯片到芯片的连接，可以手动对齐两个芯片。然后，芯片可以接触，以执行阳极粘接或各种粘合过程。单片机的对准阶段包括三个线性轴和三个旋转轴，为大多数对准应用提供了足够的自由度。
下芯片夹在基板上，上芯片由针固定。两个真空吸持器可以分别调节和开关。为了进行阳极焊接过程，提供了加热板和高压电源。键合电压由一个控制单元调节，该单元监控键合电压和键合电流。加热板的温度也在控制器上进行调节。
应用：
芯片准直；
阳极键合；
封装；
各种胶合过程（如：UV、环氧树脂、热胶合等）。
优点：
快速芯片准直；
安全操作；
可以定制用于不同用途；
结构小巧；
简单易用。
特点：
三个线性轴；
三个旋转轴；
可加热到500℃；
阳极键合电压源；
可显微镜下芯片准直；
安全操作。
主要参数：
芯片尺寸
ZUI大:25 x 25 mm
ZUI小:3 x 3 mm
芯片夹持方法:真空
加热盘
ZUI高温度:520℃
高压电源
电压：直流200V-1500V可调
可调范围
X和Y方向:加热台25mm
Z方向:针孔针25mm
旋转角度:自由360°
倾斜角度:±4°
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企业名称
皕赫科学仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91310114062543297Y
成立日期
2013-02-07
注册资本
人民币1000.0000万元整
经营范围
许可项目:货物进出口;技术进出口;进出口代理。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:仪器仪表、电子设备、机械设备、工业自动化设备、五金产品、电线电缆、金属材料、电子产品、办公用品、劳防用品、汽车饰品、家居用品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)的销售,从事科学仪器技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务，仪器仪表租赁(不得从事金融租赁),机械设备、机电设备维修(除特种设备)。(除依法顺经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
皕赫科学仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市嘉定区昌吉路156弄32号楼
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