核心参数
产地类别: 国产
旋转速度: 500-8000rpm
旋转精度: 0.1
最大加速度: 8500
基片直径: 100
腔体直径: 100
技术参数及要求:
基片尺寸: φ5-100mm圆片,最/大 100×100mm 2 方片
转速: 500-8000转/分
转速稳定性: 1%
旋涂均匀性: 1
旋涂工艺阶段: 2 段
旋涂时间:Ⅰ速0~18S,最/大(0~60S);Ⅱ速0~60S,最/大(0~180S)
整机尺寸( 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 275 mm
裸机尺寸 长宽高 210 mm × 2 6 0 mm × 1 55mm
电机功率: 40W
适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各种材料
配套 无油真空泵参数:
型号: K W 550A/KW 550T
抽速: 1 .5 升 秒
功率: 3 20W
噪音: 50db
ZUI低真空度: 700mmHg
重量: 7.3 Kg
尺寸 长宽高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽气速率: :>60L/min
企业名称
北京通世华港设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91110105099649626c
成立日期
2014-05-08
注册资本
100
经营范围
销售机械设备、电子产品、社会公共安全设备及器材、汽车零部件、金属材料、建筑材料、五金交电、矿产品、化工产品(不含危险化学品)、家用电器、针纺织品、日用品、化妆品、服装;货物进出口;技术进出口;代理进出口;技术开发;技术咨询。(领取本执照后,应到市商务委或区县商务委备案;企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京通世华港设备有限公司
公司地址
北京市朝阳区五里桥二街1号院
客服电话