匀胶机

仪器简介：

匀胶机（spin coater）有许多名称：甩胶机、涂胶机、涂层机、旋转涂胶机、主要应用于溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作。其工作原理是高速旋转基片, 利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上, 厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同, 也和旋转速度及时间有关。

匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃，钙钛矿（OPV）太阳能电池及薄膜材料制备, 可在企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。

- 同时可提供显影设备（spin developer)，及生产用匀胶机和显影设备

- 样品尺寸：  ~ 4"（6",8"12" ,16"，200*200mm,370*470mm....更多尺寸可定制）

- 卡盘：特氟龙材质

- 旋转速度 : 6000rpm ( 10,000rpm或更高可选）

- 速度精度 : <±1rpm  

- 加速／减速 : 可编程设定

- 可选配自动滴胶功能

- 可选配加热功能

主要特点：

－可实现１rpm的速度

－速度可实现多样调整

－加速，减速可自由调整

－step100步，100个方案控制

－低噪音，低震动化设计

－利用微处理器控制，适用方便

－可设定１rpm单位旋转速度，实际旋转速度标示

－为确保使用者安全，安装有door-open & vacuum leak安全装置。

－高性价比，多功能，低价格

－导入无需修理，以更换部件为理念的Ａ／Ｓ系统。