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薄膜封装专用(等离子)原子层沉积系统(PEALD & ALD)主要应用于有机半导体(OLED,OPV,钙钛矿光伏....)的薄膜封装(TFE).
在有机半导体业界得到客户的广泛认可.
主要应用:
-硅基WVTR(水蒸气透过率)的阻挡层
-Micro-OLED封装层
-柔性衬底用阻挡层
-OLED封装层
-柔性OLED显示器、柔性OLED照明、量子点、柔性太阳能电池等高水分阻隔膜的卷对卷(R2R)ALD工艺:
特点:
1.ALD超薄高k介质,厚度均匀性好,100%保形步进覆盖。
2.先进的工艺套件和小体积的短周期室
3.极限地实现了ALD机构(行波法)
4.小脚印全集成工艺模块
5.过程控制方便,供气线路长度最小。
企业名称
南京爱斯莱特检测技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
320113000360141
成立日期
2016-12-12
注册资本
100
经营范围
检测技术开发、技术咨询、技术服务;仪器仪表、检测设备、机械设备开发、设计、销售、技术咨询、技术服务;电子产品、仪器仪表、电子元器件、机械设备及配件、计算机软硬件销售;自营和代理各类商品及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
公司地址
南京市栖霞区科创路1号
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公司名称: 南京爱斯莱特检测技术有限公司
公司地址: 南京市栖霞区科创路1号 联系人: 金经理 邮编: 210046
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