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国仪FIB秀——透射电镜样品制备实操展示

仪器介绍

发布时间:2024/06/28

简介: 聚焦离子束电子束双束显微镜可用于大规模集成电路的缺陷诊断、修补、离子注入、原位加工、掩膜版修理、刻蚀,集成电路设计修改,量子芯片器件制作,无掩膜加工,纳米结构制作,复杂纳米图形加工,材料的三维成像与分析、超灵敏表面分析、表面改性,以及透射电镜样品制备等方面。应用需求广泛,不可或缺。
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