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合作丨ASDevices与全球半导体电子气巨头达成合作

加拿大ASD

2023/07/20 12:11

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近日,ASD与半导体电子气巨头林德气体Linde Gas签署了合作协议为其提供数十智能气体校准系统(GCS),用于三星电子(Samsung)在美国Texas新型半导体FAB工厂,旨在构建世界上最先进的超痕量气体校准系统

智能气体校准系统(GCS

2020之前,市场上并没有产品ppb水平校准N2H2OO2等分子,因为要实现这一点,稀释系统必须在泄漏完整性,保持样品完整性,准确产生高稀释比样品(低至ppb等方面都需要超高的标准和要求为了满足行业需求,ASD随即研发出智能气体校准系统,完全满足永久性气体和其他分子(如硫化物H2O)超痕量ppb校准要求


产品自推出以来,欢迎程度成疯狂增长。现全球各种研究院、计量机构以及工业客户使用,迅速成为H2样品中检测ppb化物的首选解决方案,同时还特别适用用于校准燃料电池H2分析系统进而推广至校准半导体电子行业中的各种痕量气体分析系统,包括台积电(TSMC


ASD独特的产品特性使其成为林德气体的供应商,产品用于校准三星电子在美国Texas新型半导体FAB中使用的所有分析仪器。可校准多个CQC(连续质量控制)系统,有助于确保所有仪器在现场准确校准,且校准值接近预期工艺浓度(ppb及以下),而不是1ppm及以上。

 

ASD总裁AndréLamontagne表示:我为我们的团队以及大家共同完成这一成就而感到骄傲。我们开发这种气体校准系统的初衷,是因为市场上的设备在精度和通用兼容性方都达不到行业标准。在这方面,我们比任何客户都要求得更高,因为我们需要在几个ppb下校准N2,这意味着泄漏完整性和样品完整性非常重要。在半导体行业,我们希望客户在1020 ppb范围内校准我们的气相色谱仪,包括N2等分子。


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