现代科技多数设备都依赖于电子元件和电子系统,因此电磁干扰所造成的影响越来越大。电磁干扰(Electromagnetic Interference,简称EMI)是指电磁波与电子设备之间的相互影响,而导致设备的性能下降,严重甚至可使设备损坏或故障,电磁干扰可能影响的范围像是电子显微镜、高精密仪器、通信设备、汽车、飞机、医疗设备、工业设备等。
其中,电子显微镜(Electron Microscope, EM) 是现今微米、奈米科技研发与检验的重要工具,例如:扫描式电子显微镜(SEM)和穿透式电子显微镜
(TEM),这些设备利用高能量的电子束来观测微结构的表面形貌和物质的元素组成,周围环境的电磁会造成设备信号干扰、电子成像的解析度下降、成像失真或扭曲变形、图像杂讯和量测数据不精准等问题,除了电磁干扰外,环境中的震动、噪音也会对电子显微镜的性能造成影响,如何有效量测并分析环境具有哪些干扰因子并将干扰程度数据化,以帮助研究员选择对应的解决方案,成为了现代科学中一门重要的课题。
由于可能造成影响的干扰源不只一种,过去为了厘清环境干扰源及影响程度,必须找来多家不同量测项目的厂商,一一找出或排除可能因子,过程往往繁琐耗时且费用可观,来自英国科技大厂Spicer Consulting的SC11环境量测仪可有效解决上述困扰。
SC11环境量测仪一次加载了三种探测器:磁场、震动、噪音量测,使其能够有效地综合评估精密仪器周围的环境干扰源强度与频率,并提供详尽的数据报告,其中磁场更可量测AC交流磁场与DC直流磁场的方向与相对位置,使用者可迅速根据量测分析的结果,采取对应的策略以解决环境干扰与电磁干扰问题。
SC11环境量测仪可测量从DC到13 kHz的电磁场强度,AC的磁场量测范围更可达20 kHz,震动幅度从最小的0.1到最大500 Hz,并采用精密麦克风探测器,声音分贝可支援20 dB到110 dB,甚至可量测半导体洁净室中顶部晶圆传送器所产生的9 kHz磁场等,可符合SEM、TEM、9kHz晶片传送天车等各式精密仪器之环境量测需求。
SC11环境量测仪可应用之产业和设备非常广泛,特别是需要进行EMI测量和分析的行业,像是电子产品、电路板、半导体、医疗、交通、能源、通讯等产业,以及需要高精密测量的科学研究机构和实验室。
透过SC11查找出环境干扰因子,勀杰科技也有提供一系列对应的解决方案,以最大化电子显微镜与高精密仪器的效能及稳定性,如:
● Spicer Consulting主动式消磁器SC22、SC24、SC26,可建立屏蔽磁场的实验室环境。
● Herz主动式防震台,主动检测输入震动幅度并动态消除。
● Herzan电子显微镜防噪音箱,使用多层隔音材料,加上模组化、拼接式设计,有效阻隔噪音又方便使用。
整体而言,电子显微镜等高精密仪器作为关键的科学研究设备,环境干扰和电磁干扰所造成的影响不容小觑。为了确保这些高精密仪器能正常运作并维持高解析度、高灵敏度,需要对其周围的环境进行严谨的干扰测量和分析,这就需要专业的工具和技术。
Spicer Consulting 的 SC11环境量测仪提供最全面的专业量测分析工具,并被世界领先的电子显微镜制造商及首屈一指的半导体制造商所使用。加上勀杰科技提供一站式服务,从场地量测探勘到改善方案一应俱全,从台湾出发跨国至中国、东南亚地区并拥有丰富的电镜影像经验从而协助客户找出设备周围的干扰源,并对症下药提供相对应的解决方案,从而确保设备产出结果之准确性,提高生产效率,降低故障率,加速科技研究进程,并为人类高科技文明发展尽一份心力。
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