现今的超高解析扫描式电子显微镜 (SEM),穿透式电子显微镜(TEM),聚焦离子束显微镜 ( FIB )及表面分析的仪器,在近几年因为影像分辨率大大提升后,对于环境的要求也日益提高,因此举凡磁场,振动及噪音均有一定的规格要求。
一般针对外部磁场干扰的解决方案有被动式磁屏蔽及主动式消磁器两种解决方案,针对被动式磁屏蔽一般采用u-metal u,也就是将设备摆设的房间做整体的屏蔽,其应用的原理也就是将外部的磁场干扰藉由高导磁材料改变其运动方向并减少对房间内部设备的磁场干扰。
但缺点为施工周期长,仅能针对目前外部磁场干扰做改善( 价格取决于施工场所的大小及磁场消除倍数多寡),而且被动磁屏蔽改善工程无法針对低频磁场干扰(近直流磁场主要由电梯,地铁,火车或钢铁厂機具)做有效的隔离。
Spicer consulting 公司提供的主动式消磁器是利用高感度之三轴向感测探头侦测外部交流磁场或直流磁场强度,控制器根据回馈之 X、Y、Z 三轴向之AC/DC 磁场产生一反向电流;并借由安装于设备周围之三轴消磁线圈产生均匀反向磁场以抵消或减少外部磁场干扰,并且使超高解析之电子显微镜(SEM/TEM),能量散布频谱分析仪器,表面分析仪器能达到高效能∘
目前国内针对高阶的电子显微镜磁场改善都是由专业的磁屏蔽公司加上Spicer SC24 主动式 交/直流消磁器,提供客户全方位的整体解决方案。
Spicer consulting 公司在近日也发布了SC28 高阶影像及检测设备-外部环境长时间监控及记录系统
● 键式启动设计
● SC28 提供 10 个数据采集通道。在 SC28 监视器中,这些信号可以以6 种比例和 3 种显示格式(示波器、频谱和图表)显示。
● 最多可以同时查看 14 个不同的图表,让您可以查看收集到的数据
更多
突破电子显微镜成像瓶颈—新SC24 Plus全面监控多种环境干扰、消除EMI问题
厂商
2024.07.22
电镜环境量测系统如何选择?场地分析SC11、长期监测SC28
厂商
2024.07.18
勀杰科技前往 Spicer Consulting 跨区域产品会议
厂商
2024.07.10
如何提高电子束微影EBL的良率:掌握消磁器选择的关键
厂商
2024.07.08