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400-860-5168转4282
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核心参数
产地类别： 进口
最大样品尺寸： Ø26 mm x 3-14 mm
减薄角度： 0° 至 30°
离子能量： 低能量100 eV～ 2 keV/高能量～10 keV
400-860-5168转4282
SEM样品制备离子减薄仪
斜面切削 表面抛光
机台原产地
匈牙利
样品类别
一般材料、热敏材料、生物材料、EBSD应用、工业材料、半导体材料、非热敏材料
应用模式
离子束斜面切削、离子束表面抛光
产品参数
※离子枪
聚焦高能量离子枪:～10 keV
(或选配聚焦超高能量离子枪:～16 keV)
聚焦低能量离子枪:100 eV～ 2 keV
※样品台
样品尺寸 圆直径26 mm x 3-14 mm
(切削样品台可选配 30o，45o 或90o 倾斜样品台)
样本倾斜 0° 至 30°
样品旋转 平面旋转 360o
样品摆动 平面摆动+10o 至 +40o
样品冷却（选配项）针对热敏样品的LN2 冷冻样品台，或保护样品过热的Peltier冷却台
※监测成像系统
高分辨率CMOS彩色相机，手动变焦50-400x放大倍数
※计算机控制系统
简单易用用户操作界面，全自动离子枪和切削参数设置、操作控制
※真空系统
薄膜泵及涡轮泵的普发真空系统，搭配Pirani/Penning真空计
※供气系统
99.999% 纯度氩气，电动针阀高精度控制工作气体流量
应用实例
比较使用机台前后样品实际拍摄照片
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