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冻干机卤素检漏仪
当铂丝加热到800～900℃时会产生正离子发射，在卤素气氛中这种正离子发射将急剧增加，这就是“卤素效应”。利用此效应制成的冻干机检漏仪称为冻干机卤素检漏仪。
冻干机卤素检漏仪由卤素检漏传感器和测量电路两部分组成。检漏传感器是一个二极管，管内的内筒、外筒及加热丝均由铂制成。内筒被热丝加热后发射正离子，外筒收集正离子，离子流的大小经放大后由微安计（μA）指示。同时辅以音响及红色灯光作为泄露报警。加热电源可用直流或交流。
根据使用条件，冻干机卤素检漏仪可按真空法或加压法来进行工作。前者，先将传感器与被检测的冻干机真空系统相连接，并将冻干机的系统抽真空使压力达到10～10-1Pa，再用示漏的卤素气体喷在冻干机有漏孔的可疑处，一旦有漏孔，示漏气体就会侵入漏孔进入传感器中。后者是先向被检测的冻干机真空系统内充入高于一个大气压的示漏卤素气体，然后用传感器的探头在被检测系统的外面对可疑处进行探测，一旦检测到示漏气体逸出部位，即为有漏孔的部位。
传感器的探头通常做成吸枪形，即在传感器前装一条吸管，在传感器后面装吸气风扇，以提高检漏效果。示漏气体可采用氯仿、四氯化碳、三氯乙烯或氟利昂等卤素气体。其中以氟利昂12（R12）效果更好。
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