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英铂携手Annealsys助力北大集成电路学院搭建半导体器件级退火炉系统
产品从出厂检验到装机验收，每一步都严格遵守工作流程。为客户提供更好的服务，是英铂一直以来追求的目标。
北京大学集成电路学成立于2021年，积极响应国家大力发展集成电路人才培养和加强科技创新的重大战略部署，发挥集成电路领域的学科领先优势以及数学、物理、化学、计算机等相关一流学科的交叉融合特点，一直是我国集成电路学科建设和科技创新改革的排头兵。
英铂科学仪器是一家上海市高新技术&专精特新企业，在全国拥有10多个销售&售后点，在上海拥有全套Open Lab公开实验室。致力于半导体和微纳米领域电学测试完整解决方案。领域涵盖DC直流、RF射频、HP功率电子、光电、极低温磁场、ESD/TLP、PCB测试等等。为客户的研发、失效分析、可靠性、WAT、CP、Burn in等提供完整且具性价比的方案。
Annealsys于2004年在法国南部的蒙彼利埃成立。Annealsys公司专业生产快速热加工(RTP)和化学气相沉积(CVD/ALD)系统。其客户主要是研发实验室和生产应用公司。
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AS-Master S20HT 退火炉
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产品介绍
Annealsys AS-Master是一款多用途的200mm RTP设备，温度范围在室温至1450℃，大气压到10-6 Torr，可手动或自动基片装载。
产品优势
·可处理到200mm基片的独立设备
·带有闭合环路空气冷却的多区红外灯卤素打火炉
·不锈钢冷壁腔室技术
·快速数字PID温度控制器
·热电偶和高温计控制
·常压和真空工艺能力
·带针阀的吹扫气路
·最多可配带MFC的工艺气路8条
·配有以太网通讯的PC控制，用于快速数据记录
·可选配分子泵和压力控制
·手动或盒到盒装载
产品应用
可应用于注入退火、欧姆接触退火(III-V and SiC)、碳化硅、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)、旋涂掺杂物扩散、致密化和结晶、硒化等。
不忘初心
筑梦前行
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公司名称： 英铂科学仪器（上海）有限公司
公司地址： 上海市松江区广富林东路199号启迪漕河泾三期13幢2层 联系人： Cherry Li 邮编： 201600 联系电话： 400-860-5168转4178
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