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英铂携手MPI助力苏州普源精电搭建8寸手动&半自动高低温晶圆级变频参数测试系统
产品从出厂检验到装机验收，每一步都严格遵守工作流程。为客户提供更好的服务，是英铂一直以来追求的目标。
RIGOL成立于1998年，为全球80多个国家和地区的客户提供先进的测试解决方案，帮助客户降低测试和测量成本，加速完成设计和项目，并快速部署新产品和技术。我们的工程师，为世界各地的工程师们提供测量支持，为他们的探索创造更多可能性。
英铂科学仪器是一家上海市高新技术&专精特新企业，在全国拥有10多个销售&售后点，在上海拥有全套Open Lab公开实验室。致力于半导体和微纳米领域电学测试完整解决方案。领域涵盖DC直流、RF射频、HP功率电子、光电、极低温磁场、ESD/TLP、PCB测试等等。为客户的研发、失效分析、可靠性、WAT、CP、Burn in等提供完整且具性价比的方案。
MPI公司是台湾上市企业，拥有5大部门，分别是量产探针卡、热流仪、高性能探针卡、光电探针台、先进半导体探针台。核心团队均是从业近30年的业内专家，研发位于德国、美国、新加坡和台湾。专业提供先进的探针台、相关耗材及定制产品。
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TS200手动探针台
TS2000-SE半自动探针台
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TS200手动探针台
产品介绍
TS200探针台应用于半导体晶圆级、器件类电学特性，具备单手可快速拖动样品台，快速位移到所需位置，并且有着独特Platen平台设计，测试重复性显著提高95%。
产品优势
1、气浮式样品移动系统
MPI独特的气垫载物台设计，单手控制，为操作人员提供了很强的便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时又不影响精确的定位功能。
2、高度调整
针座平台具备25毫米的精细高度调节，以支持各种应用。独特的1mm刻度可精确的显示当前位置。
3、多种卡盘选项
手动系统可提供多种卡盘选项，以满足不同的预算和应用需求。卡盘选件包括MPI的同轴、三轴、高功率chuck或各种ERS高低温chuck，以支持高达300°C的温度测量。
4、紧凑坚固的 Platen 平台
紧凑而坚固的压盘设计可容纳多达10个DC或四个RF MicroPositioner，满足各种应用需求。
5、多种光学系统选择
提供多种光学器件，如单筒金相显微镜SZ10或MZ12之间进行选择。
6、振动隔离平台
手动系统包括减震基座，以实现稳定可靠的探针与待测器件的长期接触，从而确保可靠稳定的测量结果。
7、屏蔽系统
暗箱为超低噪声直流测量提供EMI屏蔽和不透光的测试环境。
产品应用
适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)。
TS2000-SE半自动探针台
产品介绍
MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统，其包含独特的侧面自动装卸功能和超高屏蔽下的超低噪声环境。
特色功能
MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台发布新功能，侧面带有VCE，可完美解放您的双手，实现精准定位，完成自动扎针，使测试过程更加方便快捷。
产品优势
1、ShielDEnvironment
MPI ShielDEnvironment是一个高性能的微屏蔽暗箱，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境
2、自动化晶圆装载系统
该功能提供了非常方便的晶圆装载，并且易于针对自动程序进行预对准，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圆，针对高低温环境下可提高测试效率
3、ERS独特的 AC3冷却技术
MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment，可大幅减少30%至50%的空气消耗
4、侧视影像系统(VCE)
借助MPI8寸探针台独特的自动侧视– VCE影像系统可视化的观察探针针尖与样品之间的接触，使用DC或RF等探针卡非常安全
产品应用
1、模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
2、射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
3、失效分析 - 探针卡 / 节间探测
4、可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试
5、高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A
6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境，专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
7、支持飞安级低漏电值量测
8、支持温度范围 -60 °C 至 300 °C
不忘初心
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